На 12-й Международной выставке вакуумной техники, материалов и технологий «ВакуумТехЭкспо» – 2017, как лучший инновационный продукт 2017 года была признана «НИКА-2014 плазмохимия» – шлюзовая плазмохимическая установка для процессов травления или осаждения покрытий в среде высокоплотной плазмы.

Установка произведена в Лаборатории вакуумных технологий (Beams&Plasmas) – производителя и разработчика импортозамещающей продукции. Плазмохимические процессы широко применяются для оборонной и радиоэлектронной промышленности – при травлении микроструктур в полупроводниковом производстве, MEMS технологии, оптике.

Установки «НИКА-2014 плазмохимия» состоит из камеры Ø350х300 мм, генератора плазмы РПГ-250, охлаждаемого/нагреваемого стола с гелиевым теплоотводом и магнитной системы. Установка с сухой откачкой двух модификаций: плазмохимическое травление (ПХТ)/ плазмохимическое осаждение (ПХО).

Напомним, что «Лаборатория вакуумных технологий» (Beams&Plasmas) находится в городе Зеленограде, это российская компания – производитель и разработчик импортозамещающей продукции: серийных установок для нанесения металлических покрытий широкого спектра, вакуумных технологических устройств. Все оборудование российского производства, состоит из отечественных компонентов.

На 12-й Международной выставке вакуумной техники, материалов и технологий «ВакуумТехЭкспо» – 2017, как лучший инновационный продукт 2017 года была признана «НИКА-2014 плазмохимия» – шлюзовая плазмохимическая установка для процессов травления или осаждения покрытий в среде высокоплотной плазмы

Установка произведена в Лаборатории вакуумных технологий (Beams&Plasmas) – производителя и разработчика импортозамещающей продукции. Плазмохимические процессы широко применяются для оборонной и радиоэлектронной промышленности – при травлении микроструктур в полупроводниковом производстве, MEMS технологии, оптике.

Установки «НИКА-2014 плазмохимия» состоит из камеры Ø350х300 мм, генератора плазмы РПГ-250, охлаждаемого/нагреваемого стола с гелиевым теплоотводом и магнитной системы. Установка с сухой откачкой двух модификаций: плазмохимическое травление (ПХТ)/ плазмохимическое осаждение (ПХО).

Напомним, что «Лаборатория вакуумных технологий» (Beams&Plasmas) находится в городе Зеленограде, это российская компания – производитель и разработчик импортозамещающей продукции: серийных установок для нанесения металлических покрытий широкого спектра, вакуумных технологических устройств. Все оборудование российского производства, состоит из отечественных компонентов.



По сообщению СМИ